機臺名稱：真空等離子清洗機
機臺型號：OKSUN-PR24L/40L
整機規(guī)格：PR24L :650(W)×1240(H)×580(D)mm
                PR40L: 750(W)×550(H)×650(D)mm
電極規(guī)格：PR24L，6層平板式電極板（ 240(W)×270(D)mm）
PR40L，8平板式電極板（330(W)×315(D)mm）
電源系統(tǒng)：0-1KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 點：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持

用 途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機制造、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等等。
1、攝像頭、指紋識別行業(yè)：軟硬結(jié)合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔。
2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。